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薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試

發(fā)布日期:2024-08-28 15:53:04         瀏覽數(shù):   

  不同材料之間的區(qū)別是什么呢?必然是它的導(dǎo)電特性了,根據(jù)這一特性,材料分為了導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體。

  目前非常熱門的納米材料的研究就屬于半導(dǎo)體材料的研究,納米材料又分為零維材料、一維材料、二維材料、三位材料等。零維材料就是量子點(diǎn)、納米粉末、納米顆粒等材料;一維材料是納米線、納米管等;二維材料是納米薄膜、石墨烯等;三維材料是納米固體材料。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖1)

  薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試就是基于二維材料的薄膜和石墨烯等材料形成的樣品做測試。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖2)

  石墨烯(Graphene)由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜,只有一個(gè)碳原子厚度的二維材料。厚度僅有0.335納米,是構(gòu)建其他維數(shù)碳質(zhì)材料的基本單元。具有以下特點(diǎn):

  特點(diǎn)1:柔性,適合做可穿戴柔性電子設(shè)備;

  特點(diǎn)2:導(dǎo)電性強(qiáng),載流子遷移率為Si的10倍,工作速度快,功耗低

  特點(diǎn)3:易改性。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖3)

  什么是電阻率?一種材料的電阻率表征的是阻礙電流流過的能力的大小,其單位為Ω·m/Q·cm。如果電流很容易在某種材料中流過,那么該材料有較低的電阻率;如果電流很難流過某種材料,那么該材料有較高的電阻率電阻率為材料的本質(zhì)物理屬性,與大小和形狀無關(guān)。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖4)

  比如石墨烯的電阻率是10的-8次方Ωm,要測試其電阻率有一下幾種方式:

  一、兩探針法測試塊狀材料電阻率

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖5)

  二、四線法測試塊狀材料電阻率

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖6)

  三、Van der Pauw電阻率測試

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖7)

  四探針技術(shù)要求樣品為薄膜樣品或塊狀,范德堡法為更通用的四探針測量技術(shù),對樣品形狀沒有要求,且不需要測量樣品所有尺寸,但需滿足以下四個(gè)條件:

  1.樣品必須具有均勻厚度的扁平形狀。

  2.樣品不能有任何隔離的孔。

  3.樣品必須是均質(zhì)和各向同性的。

  4.所有四個(gè)觸點(diǎn)必須位于樣品的邊緣。

  什么是霍爾遷移率?為什么要測試霍爾遷移率?霍爾系數(shù)是半導(dǎo)體材料在磁場中電流行為的重要表征。通過測試霍爾系數(shù),我們可以確定半導(dǎo)體材料中的載流子類型(電子或空穴),進(jìn)而分析材料的導(dǎo)電機(jī)制?;魻栂禂?shù)的準(zhǔn)確測量有助于我們深入理解材料的電學(xué)特性,為器件設(shè)計(jì)提供理論支持。

  載流子濃度反映了半導(dǎo)體材料中參與導(dǎo)電的粒子數(shù)量。通過測試載流子濃度,我們可以評(píng)估材料的導(dǎo)電能力,并據(jù)此優(yōu)化器件的電流承載能力和功耗。載流子濃度的變化還可能影響材料的能帶結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能,因此對其進(jìn)行測試有助于我們?nèi)媪私獠牧系男阅芴攸c(diǎn)。

  載流子遷移率表示了載流子在電場作用下的移動(dòng)速度。高遷移率意味著材料中的載流子能夠更快地響應(yīng)外部電場的變化,從而提高器件的響應(yīng)速度和性能。因此,測試載流子遷移率對于優(yōu)化半導(dǎo)體器件的動(dòng)態(tài)性能具有重要意義。

  霍爾遷移率測試方法:

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖8)

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖9)

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖10)


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